光刻機(jī)

電子束光刻機(jī)采用場發(fā)射電子槍，配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。...

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無掩模光刻機(jī)不需要使用傳統(tǒng)的物理掩膜版來轉(zhuǎn)移電路圖形，而是通過計(jì)算機(jī)控制的高精度光束直接在感光材料上進(jìn)行掃描曝光...

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